爱德华真空泵组E2M275+EH2600真空系统详细介绍

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Edwards 旋转式真空泵

E2M175和E2M275是两级的不漏油高真空泵，专门用于在实验室和工业环境中长期、可靠地运行。4极3相电机能够通过一柔性联轴器进行直接驱动。

泵被独立固定在钢制滑轨上。这些泵不宜与危险物质一起使用。这些危险物质包括:。

1. 自然气体

2.含量>25%的氧气(除非填充有全氟聚醒油)

3.由具化学活性的物质(例如叠氤化物)形成的化合物。 腐蚀性气体。 

4.易燃混合气

E2M 泵属于两级泵，是一种不漏油的滑片真空泵

由一个滑叶油泵进行润滑。油通过一个金属滤网注入到泵中。油则被抽取到通过弹簧加载的分配阀。配油阀将低压进油引导至主真空泵，并将余油导回储油器。

额外的油被重新引流通过一个较大区域的小孔隙过滤器，一些则通过一个安全间，泵关闭时，装有弹簧的配油阅会进行油气回吸保护。

可通过油位观察窗(9)检查油箱的油位和油质。油箱的项部装有一个注油寨(3)，油箱的底部装有一个排油阀(10)。

泵的入口(5)装有 I5O63 法兰，出口(4)装有I5040 法兰。并装有外部滤油器的接头(2)(图1中未显示出来):韩部诚油器的出油在顶韶许接而外都滤油器的回油在庭部连接。

当泵送高负荷蒸气时，可用气镇控制器(1)来控制气镇输入。有关气镇的更多说明，参见第 1.3节，

此泵为水冷式。Edwards 建议采用恒温控制阀来调节水流。采用恒温控制阀可确保泵的工作温度，能保持用水经济性并有助于气镇保护，恒温控制阅为附件，

    搭配EH 机械增压泵、安全区 EH 机械增压泵、

EH 泵结构紧凑，且具有较高的抽取速度。必须将EH泵与适合的前级泵配合使用，该前级泵至少提供增压泵容积量的1/10。

EH泵可以在连续进气压力达 1000 mbar 的情况下工作。将两台或多台 EH泵串联使用可得到较低的系统压力。

所有EH泵的液力驱动装置/齿轮箱均通过压力均衡通路与泵出口相连，并构成真空系统的组成部分。该连接通路设有一个可去除碎屑的滤清器，

因此避免了润滑油和轴承受到污染。为使系统更为清洁。用户可将抽空口(图 1，第5项或图 2.第6项)连接至泵入口或外部真空泵，将端盖/齿轮盖抽空，

碾氧化合物安全区口H泵和符合 ATEX 要求的化工 EH 泵使用 Edwardstrasrade20等经油。

使用PFPE(全氧)润滑油的各型安全区EH泵也可用于拍取氧气或者其他反应性气体或腐蚀性气体的真空系统中。EH泵不得用于抽取过氧化物。

所有 EH2600 型和 EH4200 型套的幕出口均设有一台后冷却器。用以降低排放气体和转子温度。在本手册规定的正常操作参数范围内，

安全区EH 泵可以安全处理非易燃其他和蒸汽。

与适当的前级泵配合使用时，化工 EH泵和符合 ATEX 要求的 EH泵可用于泵描述"章节中规定的调度(T) 等级内的易燃气体。

为符合温度等级的要求，与化工 EH泵和符合 ATEX 要求的EH泵相连的前级泵所提供的前级压力必须至少提供 EH 增压泵容积量的 1/10.

所有 EH 泵均采用 ISO 入口法兰连接和出口法兰连接。

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