东莞鑫盛达机电设备有限公司为您提供大量关于爱德华半导体干泵维修,爱德华EPX180L维修,等方面的信息和资料。

东莞鑫盛达机电设备有限公司提供爱德华半导体干泵EPX180L系列维修销售，爱德华半导体干泵EPX180L/LE/N系列维修，爱德华半导体干泵EPX180L系列现货供应，爱德华半导体干泵EPX180L系列维修配件哪里买.

爱德华EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本***。EPX180使用了特的***保护机械装置，能够从大气压抽空到小于7×10-5Torr的极限压力。

模块化EPX180基于备受赞誉、大获成功的IPX系列，可提供的性能，与IPX相比，包装重量轻了20%、体积小了30%且功率降低了40%。

EPX系列主要特性和优势

1.占地面积小且重量轻一作为可用的小工具上泵之一，EPX***节省了占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装选项。EPX可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程使用。

2.受***保护的特泵机构-EPX可以从大气压抽空到UHV级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

3.超清洁机构-传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX泵没有高真空轴承油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源

4.非常可靠-EPX具有大约13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。

EPX系列支持清洁和轻型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点站应用。

EPX系列以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX泵采用已获***的特单轴再生Holweck?分级机构，能够从大气压抽空到小于7×10-7Torr的极限压力。

EPX泵能够以模块化组件提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程安装。此外，通过集成的MicroTIM电子模块还可以与制程工具轻松建立通信连接。

EPX180L/EPX180LE技术参数：

峰值速度                                   170m3h-1

                                                  105ft3min-1

                                                   2835 Imin-1

极限真空                                   <1×104mbar

                                                   <7.5x10-5Tor

                                                   <1×10-2Pa

预热时间（达到标称性能）        30分钟

入口法兰                                     ***63

出口法兰                                     NW25

噪音                                           <59 dB(A)

水接头                                         3/8in

小冷却水流速                            2 lm-1

冷却水温度                                 15-35°

电源供给                                      200/208V,50/60Hz三相

极限功率                                    1.4kW

电机额定功率                             3.0kW

TIM                                            C3

重量                                           43.5kg

东莞鑫盛达机电设备有限公司提供爱德华半导体干泵EPX180L系列维修销售，爱德华半导体干泵EPX180L/LE/N系列维修，爱德华半导体干泵EPX180L系列现货供应

东莞鑫盛达机电设备有限公司主要从事真空泵行业，销售维修进真空泵，真空泵系统量身订制，单级旋片油式真空泵，无油活塞式真空泵，无油隔膜泵，干式罗茨真空泵，干式螺杆泵，干式爪式真空泵，涡旋真空泵，真空泵维修/保养；德国BUSCH普旭、Becker贝克、Rietschle伟力/里其乐、Leybold莱宝、pfeiffer普发，英国Edwards爱德华、法国阿尔卡特ALCATEL,日本Orion好利旺，爱发科ULVAC,卡西雅玛KASHIYAMA,荏原Ebara,美国安捷伦Agilent，泰悉尔Tuthill，寿力Sullair,台湾汉钟HANBELL,沈科仪SKY等品牌；供应真空泵配件，真空泵油，真空泵油雾分离器，真空泵空气过滤器，油格，风扇，真空泵叶片，旋片，碳精片服务热线13509820116